基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究
批准号：
69976011
项目类别：
面上项目
资助金额：
15.8万
负责人：
依托单位：
学科分类：
F0404.半导体电子器件与集成
结题年份：
2002
批准年份：
1999
项目状态：
已结题
起止时间：
2000-01-01 至2002-12-31
项目参与者：
彭喜元； 王东红； 翟国富； 魏国； 张世平； 黄操军； 游余新；
关键词：
基于微机电技术在硅片上制作微型电磁继电器的研究是很有价值的尝试。本研究拟在理论上探明它的工作机理，在结构优化的基础上采用溅射研磨手段制作电极，用电铸工艺制作平面励磁线圈，探索一种无须装配的IC封装式微型电磁继电器。若将来它能作为很理想的信号继电器代替传统产品，其应用前景乐观。该研究为赶超国外继电器水平提供了良好的机遇。
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