花篮和片盒清洗机
花篮/片盒清洗机-华林科纳CSE
完美适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒 （Foup片盒）的清洗和干燥系统
优点
装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒（Foup片盒） 三种设备尺寸满足客户特殊需求
> CleanStep I – 用于4组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次4组花篮和片盒 清洗产能：每小时12组花篮和片盒
> CleanStep II – 用于8组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次8组花篮和片盒 清洗产能：每小时24组花篮和片盒
> CleanStep III – 用于6组前端开口片盒（Foup） 加载和清洗能力：每次6组前端开口片盒（Foup片盒） 清洗产能：每小时18组前端开口片盒（Foup片盒）
> 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼 (Cleanstep I/II)
> 适用于所有片盒一次清洗过程
> 或是同时4组花篮和片盒，或是12个花篮(Cleanstep I/II)
> 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 > 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒
> 通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花 篮，及其运行
特征和优点
可应用不同化学品（稀释剂）来清洗
> 泵传输清洗液
> 计量调整可通过软件设置控制操作
热水喷淋装置
> 热水一般由厂务供应 — 标准化
> 或有一个体积约100升的热水预备槽（循环泵和加热棒用于热水预备槽—选项）
笼子
> 带有可变速旋转的控制的高扭矩伺服电机（按照加载量和设备配置，最大旋转速度200rpm,） > 旋转的不锈钢笼子
> 会自动停止工作（运行过程中出现失衡状态时）
热空气干燥
> 顶端吹下热空气
> 采用根据设备待机和工艺运行模式的可调风量的风扇装置
> 不锈钢架上装有加热器，可以温度控制
> 软件监控温度
> 带有反压控制的高效过滤器
辅助功能和操作控制
> 触摸屏安装在前面—标准化
> 也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制—选项
其他特征
> 工艺腔室内LED灯光照明
> 可安装去静电装置和电阻率监测装置——选项
> 稳定、亚光不锈钢笼子
> 材料的外壳—可选择符合FM4910标准
> PP材料的工艺腔室—可选择符合FM4910标准
> 设备前面带有滑动门—标准化为手动/可选择自动
> 设备前面的滑动门在做维护时可完全打开
> 其他种类的花篮和片盒相适应的组件—选项
图形化的界面
> 易于操作和控制
> 10“触摸屏PLC控制器
> SECSII GEM接口—选项
> 授权访问的密码保护
> 可以编辑40多个菜单，每个菜单可有50步
> 可变量数据输入（时间、温度、速度等）
> 设备背面安装第二个触摸屏—选项
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1.概述
1.1 设备概况：
主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。
1.1.1 设备名称：花篮和片盒清洗机 1.1.3 整机尺寸(参考)：约1700mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；
1.1.4 操作形式：手动
1.2 设备组成
该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成 1.3 设备描述
l 此装置是一个手动的处理设备；
l 设备前上方有各阀门、工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)、音乐盒等，操作方便；
l 主体材料：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
l 台面板为德国10mm PP板；
l DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足18MW去离子水水质要求；
l 采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成
l 排风：位于机台后上部
l 工作照明：上方防酸照明
l 安全考虑：
1. 设有EMO(急停装置)
2. 强电弱点隔离
3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
4. 设备排风口加负压检测表
5. 设备三层防漏 漏盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内
二、设备结构及主要工艺概况
2.2台面布局：操作台面高度为950mm，适合于身高为1550到1800mm人员操作。
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