一种半导体设备花岗岩床体的制作方法
本技术涉及半导体设备，具体为一种半导体设备花岗岩床体。
背景技术：
1、半导体晶圆片在加工过程中常用到激光切割，激光切割就是将激光束照射到工件表面时释放的能量来使工件融化并蒸发，以达到切割和雕刻的目的，具有精度高，切割快速，不局限于切割图案限制，自动排版节省材料，切口平滑，加工成本低等特点，将逐渐改进或取代于传统的切割工艺设备，由于激光切割机在工作中有灼热现象，在穿透材料的同时也会到达工作台，会造成工作台表面的损伤，影响工作台的平整度，进而影响切割精度。
2、激光切割工作台面在损伤后，现有技术中会有将切割垫板进行更换，垫板的四周通过螺栓进行固定，但是，长时间螺栓会存在滑丝的情况，因此亟需设计一种半导体设备花岗岩床体。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种半导体设备花岗岩床体，以解决上述背景技术中提出的的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备花岗岩床体，包括：
3、工作台：
4、所述工作台的外侧固定安装有支撑架，所述工作台的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有抽拉板，所述抽拉板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有切割垫板，所述工作台的顶部四周固定安装有连接板，所述抽拉板、切割垫板和连接板通过螺栓本体相连接，所述螺栓本体的外侧开设有插槽，所述插槽的内部活动安装有插片，所述螺栓本体的外侧固定安装有尼龙绳，所述尼龙绳的另外一侧与插片的外侧固定连接。
5、优选的，所述抽拉板的内部设置有气缸，所述气缸的顶部设置有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部与切割垫板的底部固定连接。
6、优选的，所述抽拉板的两侧固定安装有滑块，所述工作台的内部开设有与抽拉板相匹配的滑槽，所述抽拉板的外侧固定安装有把手。
7、优选的，所述抽拉板的外侧设置有电机，所述电机的外侧固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧设置有螺纹套，所述螺纹套的底部设置有激光切割器，所述螺纹套的一侧贯穿开设有通槽，所述通槽的内部设置有导向杆。
8、优选的，所述工作台的顶部一侧固定安装有立板，所述立板的外侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的外侧固定安装有清洁装置，所述清洁装置为软毛刷或者刮板，所述清洁装置的底部与切割垫板的外表面相接触。
9、优选的，所述工作台远离清洁装置的一侧固定安装有收集盒，所述收集盒的底部开设有通槽，所述通槽的外侧活动安装有活动板，所述活动板的底部固定安装有顶柱。
10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11、1、通过使用时，通过设置有支撑架、抽拉板、切割垫板、连接板、螺栓本体、插槽、插片和尼龙绳，通过螺栓本体的设置便于抽拉板和切割垫板与工作台进行固定，拆除螺栓本体可以更换切割垫板，通过插槽和插片，采用这种设计避免长时间的使用螺栓本体有滑丝的风险，提高其加固的稳定性，首先插片的体积较小，尼龙绳的安装可以避免螺栓本体丢失，其次尼龙绳便于工作人员对其进行插拔工作。
技术特征：
1.一种半导体设备花岗岩床体，包括工作台(100)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备花岗岩床体，其特征在于：所述抽拉板(111)的内部设置有气缸(119)，所述气缸(119)的顶部设置有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部与切割垫板(112)的底部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备花岗岩床体，其特征在于：所述抽拉板(111)的两侧固定安装有滑块(120)，所述工作台(100)的内部开设有与抽拉板(111)相匹配的滑槽，所述抽拉板(111)的外侧固定安装有把手。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备花岗岩床体，其特征在于：所述抽拉板(111)的外侧设置有电机(121)，所述电机(121)的外侧固定安装有螺纹杆(122)，所述螺纹杆(122)的外侧设置有螺纹套(123)，所述螺纹套(123)的底部设置有激光切割器(114)，所述螺纹套(123)的一侧贯穿开设有通槽，所述通槽的内部设置有导向杆(124)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备花岗岩床体，其特征在于：所述工作台(100)的顶部一侧固定安装有立板(125)，所述立板(125)的外侧固定安装有电动伸缩杆(126)，所述电动伸缩杆(126)的外侧固定安装有清洁装置(127)，所述清洁装置(127)为软毛刷或者刮板，所述清洁装置(127)的底部与切割垫板(112)的外表面相接触。
6.根据权利要求1所述的一种半导体设备花岗岩床体，其特征在于：所述工作台(100)远离清洁装置(127)的一侧固定安装有收集盒(128)，所述收集盒(128)的底部开设有通槽，所述通槽的外侧活动安装有活动板(129)，所述活动板(129)的底部固定安装有顶柱(130)。
技术总结
本技术涉及半导体设备技术领域，具体为一种半导体设备花岗岩床体，包括工作台：所述工作台的外侧固定安装有支撑架，所述工作台的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有抽拉板，所述抽拉板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有切割垫板，所述工作台的顶部四周固定安装有连接板，所述抽拉板、切割垫板和连接板通过螺栓本体相连接。本技术通过螺栓本体的设置便于抽拉板和切割垫板与工作台进行固定，拆除螺栓本体可以更换切割垫板，通过插槽和插片，采用这种设计避免长时间的使用螺栓本体有滑丝的风险，提高其加固的稳定性，首先插片的体积较小，尼龙绳的安装可以避免螺栓本体丢失，其次尼龙绳便于工作人员对其进行插拔工作。
技术研发人员：祝贵中,祝瑾翼
受保护的技术使用者：恩派莱欧（济南）工业有限公司
技术研发日：20240108
技术公布日：2024/8/27
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