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国产近红外光谱分析技术助力半导体产业链关键环节自主化

花匠小妙招
2025-11-27 14:38

新华日报财经讯近日，无锡迅杰光远科技有限公司（以下简称“迅杰光远”）先后亮相第七届全球半导体产业博览会、中国无锡半导体设备年会及湾区半导体产业生态博览会等多场半导体行业盛会，集中展示其面向半导体领域晶圆清洗环节推出的专业近红外分析解决方案，受到行业广泛关注与认可。

在高端芯片制造中，纳米级的杂质或微小缺陷都可能导致整个晶圆报废。RCA标准清洗工艺，作为全球半导体行业数十年的主流技术，其效果极度依赖多种化学溶液精确无误的配比和稳定的浓度。然而，在生产过程中，由于药液的蒸发、消耗、交叉污染以及重复使用，其有效浓度时刻都在发生微小而关键的波动。传统的人工抽样、离线检测方式，不仅滞后，更存在人为误差风险。这种监测盲区，成为影响工艺一致性、制约良率爬升的“隐形杀手”。

面对这一行业共性难题，迅杰光远将其在近红外光谱分析领域深厚的技术积淀，成功应用于半导体这一极致精密的场景。其自主研发的在线式化学药液浓度计，被直接集成到晶圆清洗机的药液循环管路中，实现了对关键溶液成分的7x24小时不间断、高精度实时监测。该设备“微观掌控力”极强，能精确感知到溶液中活性组分，如过氧化氢、氨水、盐酸、氢氟酸等万分之几甚至更微小的浓度偏差。一旦发现偏离预设的最佳工艺窗口，系统会立即发出信号，自动触发补液或添加稀释液的指令，从而将药液状态始终稳定在最优区间。

这一技术突破的意义不仅在于替代进口，更在于其为中国半导体产业链的自主可控提供了可靠保障。值得一提的是，迅杰光远是国内目前唯一切入半导体领域的近红外分析仪器制造企业，成功打破了日本某厂商在晶圆清洗环节的长期垄断。公司负责人表示，目前已为超过5家半导体装备企业制定专业解决方案，其中包括北方某头部企业。

迅杰光远近两年在半导体领域取得的突破性成就，很大程度上源于其在众多流程工业场景下的长期广泛应用实践。据悉，2018年起至今，迅杰光远的近红外在线分析与监测解决方案已成功助力包括粮食加工、工业发酵、精细化工、制药、新能源等行业数百家生产企业破解长期存在的“数据盲区”难题。

迅杰光远（IAS ANALYSIS）近红外光谱分析仪

在各行业的工业流程中，传统监测依赖人工取样和离线分析方法，不仅耗时费力，而且数据滞后严重，难以实时捕捉成分波动，严重制约了生产效率和产品质量的提升。迅杰光远推出的在线式近红外分析系统，通过在产线关键节点部署分析探头，实现对物料成分的连续、原位监测，将质量管控从“事后抽检”推进到“事中干预”，为流程工业的数字化与智能化转型奠定数据基石。

中国流程工业正迈入以“智能”为引擎、以“自主”为基石的新发展阶段。近红外光谱分析技术凭借其实时、无损、多组分同步检测的独特优势，已经成为打通生产“黑箱”、实现过程透明的关键技术利器。“我们要以实时、精准的‘智慧之眼’，深度参与中国制造的高质量转型，助力中国流程工业行稳致远。”迅杰光远负责人表示，未来，迅杰光远将进一步提升产品精度与智能化水平，推动近红外光谱技术在更多行业和领域的广泛应用，助力中国工业智能化与自主可控进程的持续推进。

新华日报·财经记者陈娴